YS/T 1060-2015 Penentuan klorosilan lain dalam Kromatografi Gas silikon epitaksi triklorohidrosilan

Nomor Standar: YS/T 1060-2015(YS/T1060-2015)
Bahasa Cina:硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Bahasa Indonesia:Penentuan klorosilan lain dalam Kromatografi Gas silikon epitaksi triklorohidrosilan

Tanggal Berlaku:2015-10-01
Lingkup Standar:Standar ini berlaku untuk penentuan kandungan klorosilan lain (termasuk diklorodihidrosilicon dan silikon tetraklorida) dalam triklorohidrosilicon untuk epitaksi silikon. Batas bawah penetapan adalah 0,002%.

Dapat Diunduh dalam Format PDF: N

Anda dapat mengklik tombol di bawah untuk membeli versi PDF, dan kami akan mengirimkannya kepada Anda melalui email.

Klik di bawah untuk membeli versi cetak. Dikirim via FedEx dalam 7 hari. Pengembalian penuh jika stok habis.

Jika Anda mengalami masalah berikut, silakan klik di sini untuk menghubungi kami, kami akan berusaha sebaik mungkin untuk membantu Anda.
1. Anda tidak dapat menemukan dokumen standar yang Anda cari di situs web kami.
2. Anda telah menemukan dokumen standar, tetapi halaman kami menunjukkan bahwa unduhan PDF tidak tersedia.
3. Anda perlu membeli versi terjemahan kami.